<各種ウエハーリング>
基本的なサイズはイニシャルコストもかからず製作いたします。
エコリング等、多数製作実績ありますのでご相談下さい。 特殊形状も承ります。
サイズ | 5インチ | 6インチ | 8インチ | 12インチ |
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外径 | 214mm | 228mm | 296mm | 400mm |
内径 | 175mm | 194mm | 250mm | 350mm |
板厚 | 1.2mm | 1.2mm | 1.2mm | 1.2mm |
平行度 | 0.2mm スキマゲージによる | |||
材料 | SUS420J2 | |||
表面処理 | 無電解Niメッキ、硬質クローム | |||
硬度 | HRC40~ |