半導体治工具

<各種ウエハーリング>


   基本的なサイズはイニシャルコストもかからず製作いたします。

   エコリング等、多数製作実績ありますのでご相談下さい。 特殊形状も承ります。

サイズ 5インチ 6インチ 8インチ 12インチ
外径 214mm 228mm 296mm 400mm
内径 175mm 194mm 250mm 350mm
板厚 1.2mm 1.2mm 1.2mm 1.2mm
平行度 0.2mm スキマゲージによる      
材料 SUS420J2      
表面処理 無電解Niメッキ、硬質クローム      
硬度 HRC40~      
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